半導体製造におけるウェット/ドライエッチング
株)ISTL 礒部, 服部コンサルティングインターナショナル 服部, 毅, グロスバーグ合同会社, 大山, 聡, 式田 光宏, アドヒージョン(株, 河合 晃, サムコ(株, 中野 博彦, サムコ(株, 扇谷 浩通, 浜口, 智志, 豊田 紀章, 唐橋 一浩, 江利口 浩二, 寒川, 誠二, 株, 日立製作所, 篠田 和典, 佐藤 威友, 有馬, 健太 (担当:分担執筆範囲:第4章第3節GaNの光電気化学(PEC)エッチング)
(株)R&D支援センター 2022年10月 (ISBN: 9784905507611)